Árbók VFÍ - 01.01.1992, Blaðsíða 237

fíafmælingar á hálfleiðurum 235
mismunandi uppstiliingar, þ.e. sem
svarar til myndar 2 c) og f). Fyrir
hvert segulsviðsgildi eru framkvæmd-
ar nokkrar mælingar við hvora teng-
ingu, báðar straumstefnur og tekið
meöaltal þessara mælinga. Safn
meðaltala Hallspennunar sem fall af
segulsviði skal þá gefa beina línu
með hallatölu sem er í réttu hlutfalli
við Hallfastann eins og að framan er
greint. Þar eð Ettinghausenspennan
er í öfugu hlutfalli við segulsviðið
ætti hennar að gæta sem sveigju á
línunni sem sýnir mælda spennu sem
fall af segulsviði, en vitað er að áhrif hennar eru hverfandi. I raun er mælt hlutfall spennu og
straums í stað spennu og reiknuð er hallatala þeirrar línu sem sýnir þetta hlutfall sem fall af
segulsviði. Þess er ekki kostur að umpóla við mælinguna segul þann sem notaður er eins og
lagt er til að gert sé [9].
5 Mæling á háviðnámshálfleiðurum
Oft á tíðum þarf að mæla hátt viðnám þegar metnir eru rafeiginleikar í hálfleiðurum með víða
orkugeil. Sýni með viðnám upp að 107Q er auðvelt að mæla nteð venjulegum mælitækjum ef
þess er gætt að forðast straumleka. Eins og að franran er getið er umtenging grundvöllur van
der Pauw aðferðarinnar en flækir mjög keifið. Fyrir sýni sem hafa viðnám lægra en 107 í2 er
hægt að framkvæma þær með einföldum rofabúnaði og venjulegum spennumælum sem hafa
inngangsviðnám um 109O |7j Til að mæla hærra viðnárn, hreyfanleika og hleðsluberaþétt-
leika verður gæta þess við uppsetningu ntælirásar að nota mæla með háu inngangsviðnámi.
Ýmsar leiðir hafa verið reyndar með það fyrir augum að framkvæma mælingar á háviðnáms
efnum [5]. Þar á meðal eru mismunamælingar, tvöföld mótun 11 ], ac og dc vörðun |6]. Notkun
jafnspennu hefur þá yfirburði að vera einfaldari og að ráða við hærra viðnám [5].
Þegar fengist er við merki frá tólum með hátt lindarviðnám getur verið heppilegt að varða
merkið. Jafnvel nokkurra hundraða pF inngangsrýmd getur rnyndað lághleypisíu, með brot við
nokkur rið.
Sýnið sem er mælt, er haft á milli póla seguls og hinn hluti rásarinnar er staðsettur í skáp um
1 - 2 m frá sýninu. Þetta kemur fram í þúsunda pF rýmd sem verður til í rásinni. Þegar viðnárn
sýnisins er meira en 106Q m verður stöðugleikatímafasti rásarinnar þannig um 1 mínúta. Þrátt
fyrir að rásin ætti að vera hæf til að mæla hærra viðnám, ef einungis er litið á inngangsviðnám
mælis, er það vegna þessa í raun ekki hægt. Vörðun skerms hins sanrása leiðara, sem ber merk-
ið, þannig að spennumunur séenginnámillimerkisinsogumhverfisins,dregurúrlekastraumum
og minnkar rýntdina.
Til að flytja merkin frá sýninu eru notaðir fjórir skermaðir leiðarar. Skermurinn er síðan
notaður til að varða sérhvern leiðara frá sýninu að mælirásunum. Sérhver leiðari er tengdur inn
á einingarmagnara með háu inngangsviðnámi |6|. Spennumerkið frá sýninu er tekið um
Mynd 4 Tenging aðgcrðarmagnam. Útmerkið erfcett inn
á skerm samása kapalsins sem ber merkið og inn á öfugan
inngang magnara.